介质要求：腐蚀性、洁净、干燥的气体 

介质种类：可80多种气体，请参考背面 

量 程 从：3SCCM-30-300-3000SLPM（详情请咨询） 

测量和控制范围 1~100% 

显示方式： 显示质量流量 

精 度 ：±1 % 满量程

重复性： ± 0.2 % 满量程 零点漂移 & 满量程漂移 0.05 % 满量程 / ℃ / Atm 

响应时间： 3SCCM-30优于1s，30-300-3000SLPM优于3s 

预热时间： ＜ 15min 标定工况： 0 ℃ &101325Pa（其它标况可选） 

工作温度： 5 ～ 55 ℃（可选高温选项至 -20 ～ 80 ℃） 

工作湿度： 0 ~ 95 %，无冷凝 

最 大工作压力：3MPaG 最 低操作压力，如果不做真空特殊标定，建议在绝压 80 KPaA 以上使用；其他真空压力建议做特殊标定 

满量程压损： 参考背面详细压损表 数字输入 / 输出信号：无 模拟输入 / 输出信号：0-5 VDC，4-20 mA 

模拟信号精度：在基础误差上额外增加 ±0.1% 满量程的误差 

供电电压： 12 - 30 VDC （如选 4-20 mA 输出，须为 15 - 30 VDC ） 

供电电流： 250 mA，1 A，2 A（详情咨询） 

电气接口：DB9 泄漏率（外漏）：泄漏率可低至 1 x 10-9Atm cc/s He 材质: SS316不锈钢 

过程连接:标准为G1/4 内螺纹 

安装方式:对位置无要求 

防护等级: IP40 认证 ISO9001

ZNA01系列小型流量气体质量流量控制器由质量流量传感器、热 式原件、质量流量控制器调节阀和放大电路组成，它利用流动的流体 传递热量改变测量毛细管温度分布的热传导分布效应而制成，其原理 是采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量，将传 感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得 的差值去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的 流量相等。 准确可靠的测量和控制气体质量流量，测量和控制精度高、零飘 小，测量和控制范围宽，测量和控制的准确度不受环境温度和外界压 力的影响，广泛的应用于真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学化工 实验设备、分析仪器、冶金材料工程、能源动力等各领域.