介质要求：腐蚀性、洁净、干燥的气体 

介质种类：可80多种气体，请参考背面或咨询销售 

量 程 从：10 - 300 SLPM（详情请咨询） 

测量和控制范围50倍、500倍、1000倍、至10000倍 

显示方式： 液晶显示 

精 度 ：±1 % VOL 或更高（可定制更高精度）

重复性： ± 0.2 % 满量程 零点漂移 & 满量程漂移 0.05 % 满量程 / ℃ / Atm 

响应时间： 优于 1s 

预热时间： ＜ 15min 

标定工况： 0 ℃ &101325Pa（其它标况可选） 

工作温度： 5 ～ 55 ℃（可选高温选项至 -20 ～ 80 ℃） 

工作湿度： 0 ~ 95 %，无冷凝 

最大工作压力：3 MPaG 可选10 MPaG 

最低操作压力： 如果不做真空特殊标定，建议在绝压 80 KPaA 以上 使用； 其他真空压力建议做特殊标定 

满量程压损： 参考背面详细压损表 

数字输入 / 输出信号：RS485 modbus rtu或RS232 

模拟输入 / 输出信号：0-5V或4-20mA 

供电电压： 220 VAC 

供电功率： 80W（详情咨询） 串口：压线端子4针 

泄漏率（外漏）：泄漏率可低至 1 x 10-9Atm cc/s He 材质: SS316不锈钢 

过程连接:标准为G1/4 内螺纹 

安装方式:对位置无要求 

防护等级: IP40 认 证： ISO 90

ZNIX-系列浓度配比装置由质量流量传感器、热式原件、质量流 量调节阀和压力检测组件等组成，它利用流动的流体不同的流量效应 而制成，其原理是采用量热法原理测量气体的质量流量，并分别控制 各自气体的流量，进入混合器进行精密混合，将混合后的气体按需输 出给用气点，同时设备自带多种测量原件对气体进行检测，保证混合 的精确性。 准确可靠的测量和控制气体质量流量，测量和控制精度高、零飘 小，测量和控制范围宽，测量和控制的准确度不受环境温度和外界压 力的影响，广泛的应用于真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学化工 实验设备、分析仪器、冶金材料工程、能源动力等各领域.